| Item type |
紀要論文(ELS) / Departmental Bulletin Paper(1) |
| 公開日 |
1989-03-20 |
| タイトル |
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タイトル |
PASを用いた高周波プラズマCVD SiC:H薄膜の研究 |
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言語 |
ja |
| タイトル |
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タイトル |
Photoacoustic Spectrum of a-SiC:H films prepared by rf Plasma-enhanced CVD |
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言語 |
en |
| タイトル |
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タイトル |
PAS オ モチイタ コウシュウハ プラズマ CVD SIC H ハクマク ノ ケンキュウ |
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言語 |
ja-Kana |
| 言語 |
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言語 |
jpn |
| 資源タイプ |
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資源タイプ識別子 |
http://purl.org/coar/resource_type/c_6501 |
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資源タイプ |
departmental bulletin paper |
| ページ属性 |
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内容記述タイプ |
Other |
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内容記述 |
P(論文) |
| 著者名 |
栗田, 満史
竹中, 進
中川, 紀美雄
赤尾, 文雄
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| 著者所属(日) |
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ja |
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岡山理科大学大学院理学研究科 |
| 著者所属(日) |
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ja |
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岡山理科大学大学院理学研究科 |
| 著者所属(日) |
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ja |
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岡山理科大学電子工学科 |
| 著者所属(日) |
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ja |
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岡山理科大学電子工学科 |
| 著者所属(英) |
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en |
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Graduate School of Science, Okayama University of Science |
| 著者所属(英) |
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en |
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Graduate School of Science, Okayama University of Science |
| 著者所属(英) |
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en |
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Department of Electronic Engineering, Okayama University of Science |
| 著者所属(英) |
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en |
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Department of Electronic Engineering, Okayama University of Science |
| 抄録(英) |
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内容記述タイプ |
Other |
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内容記述 |
We have optically characterized a-SiC : H films prepared by plasma-CVD techniques under various deposition conditions. Infrared spectra were measured at room temperature, from which the banded H content (C_H) could be deduced. The optical band gap (E_o) and the slop of Urbach tail (E_e) by means of photoacoustic spectroscopy (PAS) at room temperature were obtained. The correlation between E_e and C_H was discussed from these data. As the result, we have found that the increase of the amount of H_2 gas affects the Urbach tail and serves the suppression of the disorder in the lattice. |
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言語 |
en |
| 雑誌書誌ID |
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収録物識別子タイプ |
NCID |
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収録物識別子 |
AN00033244 |
| 書誌情報 |
ja : 岡山理科大学紀要. A, 自然科学
en : Bulletin of Okayama University of Science. A, Natural Sciences
巻 24,
p. 137-148,
発行日 1989-03-20
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KJ00000063376.pdf (566.5 kB)
