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紀要論文(ELS) / Departmental Bulletin Paper(1) |
| 公開日 |
2020-12-11 |
| タイトル |
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タイトル |
バイポーラHiPIMS法を用いたDLC成膜におけるプラズマの時空間分解発光分光診断 |
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言語 |
ja |
| タイトル |
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タイトル |
Time and spatial distribution of plasma emission in diamond-like carbon (DLC) films formed using bipolar HiPIMS discharge |
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言語 |
en |
| タイトル |
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タイトル |
バイポーラ HiPIMSホウ オモチイタ DLC セイマク ニオケル プラズマ ノ ジクウカン ブンカイ ハッコウ ブンコウ シンダン |
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言語 |
ja-Kana |
| 言語 |
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言語 |
jpn |
| 資源タイプ |
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資源タイプ識別子 |
http://purl.org/coar/resource_type/c_6501 |
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資源タイプ |
departmental bulletin paper |
| ページ属性 |
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内容記述タイプ |
Other |
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内容記述 |
P(論文) |
| 著者名 |
福江, 紘幸
小山, 裕雅
岡野, 忠之
黒岩, 雅英
米澤, 健
中谷, 達行
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| 著者所属(日) |
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ja |
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岡山理科大学大学院工学研究科博士課程システム科学専攻 |
| 著者所属(日) |
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ja |
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岡山理科大学工学部電気電子システム学科（現:三井E＆Sシステム技研株式会社） |
| 著者所属(日) |
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ja |
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東京電子株式会社 |
| 著者所属(日) |
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ja |
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東京電子株式会社 |
| 著者所属(日) |
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ja |
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ケニックス株式会社 |
| 著者所属(日) |
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ja |
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岡山理科大学フロンティア理工学研究所 |
| 著者所属(英) |
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en |
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Graduate School of Engineering - Systems Science Doctoral Program, Okayama University of Science |
| 著者所属(英) |
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en |
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Faculty of Engineering, Okayama University of Science |
| 著者所属(英) |
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en |
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Tokyo Electronics Co., Ltd. |
| 著者所属(英) |
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en |
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Tokyo Electronics Co., Ltd. |
| 著者所属(英) |
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en |
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Kenix Corporation |
| 著者所属(英) |
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en |
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Institute of Frontier Science and Technology, Okayama University of Science |
| 雑誌書誌ID |
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収録物識別子タイプ |
NCID |
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収録物識別子 |
AN00033244 |
| 書誌情報 |
ja : 岡山理科大学紀要. A, 自然科学
en : Bulletin of Okayama University of Science. A, Natural Sciences
巻 56,
p. 67-74,
発行日 2020-12-11
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56a09.pdf (1.4 MB)
