@article{oai:ous.repo.nii.ac.jp:00002469,
 author = {福江, 紘幸 and Fukue, Hiroyuki and 小山, 裕雅 and Koyama, Yuga and 岡野, 忠之 and Okano, Tadayuki and 黒岩, 雅英 and Kuroiwa, Masahide and 米澤, 健 and Yonezawa, Ken and 中谷, 達行 and Nakatani, Tatsuyuki},
 journal = {岡山理科大学紀要. A, 自然科学, Bulletin of Okayama University of Science. A, Natural Sciences},
 month = {Dec},
 note = {P(論文)},
 pages = {67--74},
 title = {バイポーラHiPIMS法を用いたDLC成膜におけるプラズマの時空間分解発光分光診断},
 volume = {56},
 year = {2020},
 yomi = {フクエ, ヒロユキ and コヤマ, ユウガ and オカノ, タダユキ and クロイワ, マサヒデ and ヨネザワ, ケン and ナカタニ, タツユキ}
}