| Item type |
紀要論文(ELS) / Departmental Bulletin Paper(1) |
| 公開日 |
2019-02-15 |
| タイトル |
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タイトル |
反応性大電力パルススパッタリングにおけるDLC成膜の放電特性 |
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言語 |
ja |
| タイトル |
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タイトル |
Discharge Characteristics of DLC Films Formation using Reactive High-Power Impulse Magnetron Sputtering |
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言語 |
en |
| タイトル |
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タイトル |
ハンノウセイ ダイデンリョク パルス スパッタリング ニオケル DLCセイマク ノ ホウデン トクセイ |
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言語 |
ja-Kana |
| 言語 |
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言語 |
jpn |
| 資源タイプ |
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資源タイプ識別子 |
http://purl.org/coar/resource_type/c_6501 |
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資源タイプ |
departmental bulletin paper |
| ページ属性 |
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内容記述タイプ |
Other |
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内容記述 |
P(論文) |
| 著者名 |
福江, 紘幸
岡野, 忠之
黒岩, 雅英
クルモフ, バレリー
中谷, 達行
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| 著者所属(日) |
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ja |
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岡山理科大学大学院工学研究科修士課程電子工学専攻 |
| 著者所属(日) |
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ja |
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東京電子株式会社 |
| 著者所属(日) |
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ja |
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東京電子株式会社 |
| 著者所属(日) |
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ja |
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岡山理科大学工学部電気電子システム学科 |
| 著者所属(日) |
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ja |
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岡山理科大学技術科学研究所先端材料工学部門 |
| 著者所属(英) |
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en |
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Graduate School of Engineering, Okayama University of Science |
| 著者所属(英) |
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en |
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Tokyo Electronics Co.,Ltd. |
| 著者所属(英) |
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en |
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Tokyo Electronics Co.,Ltd. |
| 著者所属(英) |
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en |
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Department of Electrical and Electronic Engineering, Faculty of Engineering, Okayama University of Science |
| 著者所属(英) |
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en |
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Research Institute of Technology, Okayama University of Science |
| 雑誌書誌ID |
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収録物識別子タイプ |
NCID |
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収録物識別子 |
AN00033244 |
| 書誌情報 |
ja : 岡山理科大学紀要. A, 自然科学
en : Bulletin of Okayama University of Science. A, Natural Sciences
巻 54,
p. 37-41,
発行日 2019-02-15
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54a05.pdf (3.0 MB)
