@article{oai:ous.repo.nii.ac.jp:00002254, author = {福江, 紘幸 and Fukue, Hiroyuki and 岡野, 忠之 and Okano, Tadayuki and 黒岩, 雅英 and Kuroiwa, Masahide and クルモフ, バレリー and Kroumov, Valeri and 中谷, 達行 and Nakatani, Tatsuyuki}, journal = {岡山理科大学紀要. A, 自然科学, Bulletin of Okayama University of Science. A, Natural Sciences}, month = {Feb}, note = {P(論文)}, pages = {37--41}, title = {反応性大電力パルススパッタリングにおけるDLC成膜の放電特性}, volume = {54}, year = {2019}, yomi = {フクエ, ヒロユキ and オカノ, タダユキ and クロイワ, マサヒデ and クルモフ, バレリー and ナカタニ, タツユキ} }