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アイテム / 高周波-大電力パルススパッタリング法を用いたDLC成膜における放電特性と薄膜特性の関係 / brif03p9-12
brif03p9-12
| ファイル | ライセンス |
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 brif03p9-12.pdf (1.5 MB)
sha256
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| 公開日 | 2021-12-25 | |||||
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| ファイル名 | brif03p9-12.pdf | |||||
| 本文URL | https://ous.repo.nii.ac.jp/record/3114/files/brif03p9-12.pdf | |||||
| フォーマット | application/pdf | |||||
| サイズ | 1.5 MB | |||||
| Version | Date Modified | Object File Name | File Size | File Hash Value | Contributor Name | Show/Hide |
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