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紀要論文(ELS) / Departmental Bulletin Paper(1) |
| 公開日 |
2021-12-25 |
| タイトル |
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タイトル |
高周波-大電力パルススパッタリング法を用いたDLC成膜における放電特性と薄膜特性の関係 |
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言語 |
ja |
| タイトル |
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タイトル |
Relationship between discharge characteristics and thin film properties in DLC film deposition using high frequency-high power impulse magnetron sputtering method |
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言語 |
en |
| タイトル |
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タイトル |
コウシュウハ ダイデンリョク パルス スパッタリングホウ オ モチイタ DLC セイマク ニオケル ホウデン トクセイ ト ハクマク トクセイ ノ カンケイ |
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言語 |
ja-Kana |
| 言語 |
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言語 |
jpn |
| 資源タイプ |
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資源タイプ識別子 |
http://purl.org/coar/resource_type/c_6501 |
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資源タイプ |
departmental bulletin paper |
| ページ属性 |
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内容記述タイプ |
Other |
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内容記述 |
P(論文) |
| 著者名(日) |
福江, 紘幸
岡野, 忠之
黒岩, 雅英
國次, 真輔
太田, 裕己
米澤, 健
中谷, 達行
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| 著者所属(日) |
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ja |
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岡山理科大学大学院工学研究科博士課程システム科学専攻 |
| 著者所属(日) |
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ja |
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東京電子株式会社 |
| 著者所属(日) |
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ja |
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東京電子株式会社 |
| 著者所属(日) |
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ja |
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岡山県工業技術センター |
| 著者所属(日) |
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ja |
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ケニックス株式会社 |
| 著者所属(日) |
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ja |
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岡山理科大学大学院工学研究科博士課程システム科学専攻 |
| 著者所属(日) |
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ja |
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岡山理科大学フロンティア理工学研究所 |
| 著者所属(英) |
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en |
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Graduate School of Engineering - Systems Science Doctoral Program, Okayama University of Science |
| 著者所属(英) |
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en |
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Tokyo Electronics Co., Ltd. |
| 著者所属(英) |
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en |
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Tokyo Electronics Co., Ltd. |
| 著者所属(英) |
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en |
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Industrial Technology Center of Okayama Prefecture |
| 著者所属(英) |
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en |
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Kenix Corporation |
| 著者所属(英) |
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en |
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Graduate School of Engineering - Systems Science Doctoral Program, Okayama University of Science |
| 著者所属(英) |
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en |
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Research Institute of Frontier Science and Technology, Okayama University of Science |
| 雑誌書誌ID |
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収録物識別子タイプ |
NCID |
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収録物識別子 |
AA12906306 |
| 書誌情報 |
ja : フロンティア理工学研究所研究報告
en : The bulletin of Research Institute of Frontier Science and Technology
巻 3,
p. 9-12,
発行日 2021-12-25
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brif03p9-12.pdf (1.5 MB)
