| Item type |
紀要論文(ELS) / Departmental Bulletin Paper(1) |
| 公開日 |
1986-03-05 |
| タイトル |
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タイトル |
II-VI族化合物結晶成長用分子線エピタキシ装置の製作 |
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言語 |
ja |
| タイトル |
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タイトル |
Apparatus for Crystal Growth of II-VI Compounds by Means of Molecular Beam Epitaxy Method |
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言語 |
en |
| タイトル |
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タイトル |
2-6ゾク カゴウブツ ケッショウ セイチョウヨウ ブンシセン エピタキシ ソウチ ノ セイサク |
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言語 |
ja-Kana |
| 言語 |
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言語 |
jpn |
| 資源タイプ |
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資源タイプ識別子 |
http://purl.org/coar/resource_type/c_6501 |
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資源タイプ |
departmental bulletin paper |
| ページ属性 |
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内容記述タイプ |
Other |
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内容記述 |
P(論文) |
| 著者名 |
大石, 正和
大森, 健三
藤井, 義弘
斉藤, 博
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| 著者所属(日) |
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ja |
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岡山理科大学理学部応用物理学科 |
| 著者所属(日) |
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ja |
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岡山理科大学理学部応用物理学科 |
| 著者所属(日) |
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ja |
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岡山理科大学理学部応用物理学科 |
| 著者所属(日) |
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ja |
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岡山理科大学理学部応用物理学科 |
| 著者所属(英) |
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en |
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Department of Applied Physics, Faculty of Science, Okayama University of Science |
| 著者所属(英) |
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en |
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Department of Applied Physics, Faculty of Science, Okayama University of Science |
| 著者所属(英) |
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en |
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Department of Applied Physics, Faculty of Science, Okayama University of Science |
| 著者所属(英) |
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en |
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Department of Applied Physics, Faculty of Science, Okayama University of Science |
| 抄録(英) |
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内容記述タイプ |
Other |
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内容記述 |
An apparatus for the crystal growth of II-VI compounds by means of molecular beam epitaxy (MBE) are reported. The apparatus consists of two vacuum chambers. One is for the crystal growth itself and the other is the sub-chamber to exchange samples without exposing the main chamber to the atmospheric pressure. The main chamber is equipped with four Knudsen-cells, a manupilator to handle samples in the vacuum. a quadrupole mass filter for the analysis of residual gasses, and a device for high energy electron diffraction (RHEED) measurements. The main chamber is evacuated by a 300l/sec turbomolecular pump, and keeps at pressure down to 10^<-10> Torr under the operating condition. The analyses by the quadrupole mass filter shows only a strong signal by H_2 molecule and a trace of CO. The apparatus is now in operation for the homoepitaxial growth of ZnSe thin films on ZnSe substrate. |
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言語 |
en |
| 雑誌書誌ID |
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収録物識別子タイプ |
NCID |
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収録物識別子 |
AN00033244 |
| 書誌情報 |
ja : 岡山理科大学紀要. A, 自然科学
en : Bulletin of Okayama University of Science. A, Natural Sciences
巻 21,
p. 33-47,
発行日 1986-03-05
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KJ00000063271.pdf (1.1 MB)
