WEKO3
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バイポーラHiPIMS法を用いたDLC成膜におけるプラズマの時空間分解発光分光診断
https://ous.repo.nii.ac.jp/records/2469
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名前 / ファイル | ライセンス | アクション |
---|---|---|
56a09.pdf (1.4 MB)
|
|
Item type | 紀要論文(ELS) / Departmental Bulletin Paper(1) | |||||
---|---|---|---|---|---|---|
公開日 | 2020-12-11 | |||||
タイトル | ||||||
言語 | ja | |||||
タイトル | バイポーラHiPIMS法を用いたDLC成膜におけるプラズマの時空間分解発光分光診断 | |||||
タイトル | ||||||
言語 | en | |||||
タイトル | Time and spatial distribution of plasma emission in diamond-like carbon (DLC) films formed using bipolar HiPIMS discharge | |||||
タイトル | ||||||
言語 | ja-Kana | |||||
タイトル | バイポーラ HiPIMSホウ オモチイタ DLC セイマク ニオケル プラズマ ノ ジクウカン ブンカイ ハッコウ ブンコウ シンダン | |||||
言語 | ||||||
言語 | jpn | |||||
資源タイプ | ||||||
資源タイプ識別子 | http://purl.org/coar/resource_type/c_6501 | |||||
資源タイプ | departmental bulletin paper | |||||
ページ属性 | ||||||
内容記述タイプ | Other | |||||
内容記述 | P(論文) | |||||
著者名 |
福江, 紘幸
× 福江, 紘幸× 小山, 裕雅× 岡野, 忠之× 黒岩, 雅英× 米澤, 健× 中谷, 達行 |
|||||
著者所属(日) | ||||||
ja | ||||||
岡山理科大学大学院工学研究科博士課程システム科学専攻 | ||||||
著者所属(日) | ||||||
ja | ||||||
岡山理科大学工学部電気電子システム学科(現:三井E&Sシステム技研株式会社) | ||||||
著者所属(日) | ||||||
ja | ||||||
東京電子株式会社 | ||||||
著者所属(日) | ||||||
ja | ||||||
東京電子株式会社 | ||||||
著者所属(日) | ||||||
ja | ||||||
ケニックス株式会社 | ||||||
著者所属(日) | ||||||
ja | ||||||
岡山理科大学フロンティア理工学研究所 | ||||||
著者所属(英) | ||||||
en | ||||||
Graduate School of Engineering - Systems Science Doctoral Program, Okayama University of Science | ||||||
著者所属(英) | ||||||
en | ||||||
Faculty of Engineering, Okayama University of Science | ||||||
著者所属(英) | ||||||
en | ||||||
Tokyo Electronics Co., Ltd. | ||||||
著者所属(英) | ||||||
en | ||||||
Tokyo Electronics Co., Ltd. | ||||||
著者所属(英) | ||||||
en | ||||||
Kenix Corporation | ||||||
著者所属(英) | ||||||
en | ||||||
Institute of Frontier Science and Technology, Okayama University of Science | ||||||
雑誌書誌ID | ||||||
収録物識別子タイプ | NCID | |||||
収録物識別子 | AN00033244 | |||||
書誌情報 |
ja : 岡山理科大学紀要. A, 自然科学 en : Bulletin of Okayama University of Science. A, Natural Sciences 巻 56, p. 67-74, 発行日 2020-12-11 |